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埃米時代太燒錢!設備價格飆破200億 台積電等先進製程廠商卻步
【記者呂承哲/綜合外電】生產先進製程的關鍵半導體設備、荷商艾司摩爾(ASML)在去年底出貨首台高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)曝光機給美國半導體巨頭英特爾,今年4月再度出貨,市場據傳是全球晶圓代工龍頭台積電,這款設備將用於2奈米以下製程,造價最高來到3.5億歐元(逼近120億元新台幣),比現在的EUV機台1.5億至2億美元(約為65億元新台幣)多了將近1倍。現在傳出,將在2030年推出的Hyper-NA EUV曝光機售價,連台積電、三星以及英特爾都望之卻步。