根據台積電永續報告書指出，針對氣候變遷因應措施與再生能源使用，加速 RE100 永續進程至2040年、2030年使用再生能源目標由 40% 提升至 60%；水資源風險管理與再生水替代率，則是持續與政府合作興建再生水廠，2030年目標再生水替代率 60% 以上。台積電持續提高使用再生能源占比，致力降低營運範圍內碳排放量，同時積極與供應鏈合作減碳， 持續落實「完善供應鏈碳資訊、低碳方案最佳化、 與供應商合作、推動低碳生態系統、建立內部減 碳制度」五大推動方向。
台積電說明，於今年起正式將減碳績效列入選商指標，關鍵排放源供應商須簽署溫室氣體減排協議（TSMC Greenhouse Gas Reduction, Emissions Elimination & Neutrality (GREEN) Agreement for Suppliers），除承諾2030年須達成雙方協議的排放減量目標外，2026年底前要完成產品碳足跡的第三方驗證，未合規者將減少業務合作，以期實踐供應鏈去碳化（Decarbonization），一同邁向零碳永續發展。
為促進更多供應商重視並落實減碳管理，台積電將減碳目標與成果納入選商評估，並要求關鍵排放源供應商定期共同檢討減碳進度，且供應商須於每年指定期限前提交新年度及中長期計畫，確保減排成果符合預期並持續改進，期盼與志同道合的供應商合作打造半導體綠色產業鏈。
有鑑於不同供應商於碳管理推動程度上的差異，台積電將過往供應鏈碳管理歷程與自身減碳經驗整合成「供應鏈減碳行動指引」，涵蓋「績效追蹤與提高透明度、提供資源與客製化輔導、提升動機與擴大影響範圍、合作創新與重視成本效益」四大範疇，協助台積電及供應商採取合適的減碳策略及制定行動計畫，精進綠色管理。台積電ESG官網連結在此。
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