高檢署接獲台積電提告後，7月底展開偵辦行動，其中1名陳姓工程師為台積電前員工，和2名當時仍任職台積電的工程師勾結，竊取2奈米製程技術圖檔，3人被依涉嫌違反《國家安全法》聲押禁見。
據《自由時報》報導，陳姓工程師是國立知名大學研究所碩士，曾擔任台積電資深工程師近8年時間，2022年被日本半導體設備大廠東京威力科創（TEL）延攬，擔任高級行銷專員，負責台積電有關蝕刻設備相關服務，而他上面的主管也來自台積電，是擁有台大高學歷的優秀女主管。
根據2023年公告的國家核心關鍵技術清單，將14奈米以下製程的IC製造技術及其關鍵氣體、化學品及設備等納入其中，因此台積電的2奈米製程技術屬「國家核心關鍵技術」，依《國安法》恐面臨最高12年有期徒刑、新台幣1億元罰金的刑責。
而東京威力科創也發聲明，指稱集團子公司1名前員工，經確認涉及台灣司法事件，已經解僱處分，並全面配合台灣司法當局調查，並表示經公司內部調查，截至目前未發現相關機密資訊外洩。
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