科林研發首推半導體協作機器人Dextro 提升晶圓廠效率與良率
【記者呂承哲／台北報導】 Lam Research 科林研發（LRCX）日前推出全球首款協作機器人（cobot）Dextro，專為優化半導體晶圓製造設備的關鍵維護任務而設計。該產品已部署於多家先進晶圓廠，能以高精度執行維護保養，顯著減少設備停機時間及生產變異，並促進一步到位（FTR）的良率提升。
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