針對這起台積電洩密案，高檢署於7月底展開偵辦行動，陸續拘提6人到案說明。其中，一名陳姓工程師為台積電前員工，與當時仍於台積電任職的吳姓、戈姓工程師2人勾結，並透過居家遠端辦公漏洞，利用吳男等2人以公司配發的筆電登入內網，再由陳男翻攝電腦螢幕竊取二奈米製程技術圖檔，3人被依涉嫌違反《國家安全法》聲押禁見獲准。
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根據2023年行政院公告的國家核心關鍵技術清單，涵蓋14奈米以下製程的IC製造技術及其關鍵氣體、化學品及設備等項目，台積電的2奈米製程技術即屬「國家核心關鍵技術」；另因《國安法》已明訂經濟間諜罪，若為外國竊取國家核心關鍵技術的營業秘密，依法將由檢調偵辦，違法恐面臨最高12年有期徒刑、新台幣1億元罰金的刑責。
據了解，檢調單位積極深入追查相關金流，將釐清本案是否有幕後的商業間諜操作？亦或僅是單純的工程師見有利可圖，便出售商業機密。
媒體報導，陳姓工程師先前曾在台積電公司任職長達近8年，前幾年先是擔任量測相關的工作，需與研發、晶圓生產及採購部門合作，後幾年則參與過5、3奈米等先進製程的缺陷改善，而吳男、戈男都是和陳男在缺陷改善部門的老同事。隨後，陳男則在2022年底被日商設備大廠挖角，擔任公司的高級行銷專員，負責台積電有關蝕刻設備相關服務。
而社群媒體也流傳著一張LINE群組截圖，文字透露涉案的3名工程師均畢業於國立頂尖大學且皆有家室，其中某位工程師最近還接連買房，光是自備款就需要3千萬元，且常和同事說自己不缺錢，平日也不太甩老闆、常常搞消失，而同事、朋友們對於該工程師突然變有錢，疑似也感到相當驚訝。
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