資騰科技總經理陳國榮表示:「SOI晶圓剝離解決方案不只是材料創新,更是推動AI晶片、電動車、自駕技術的核心驅動力。Decauto在國際市場上被充分驗證,已被廣泛採納為SOI製程的標準解決方案。透過資騰的在地化支援,協助台灣晶圓廠加速導入SOI技術,進而提升台灣半導體在全球供應鏈中的戰略地位。」

Decauto 以其專利的自動化設計與精密控制機制,能在晶圓剝離過程中同時兼顧穩定性、良率與一致性。它不僅確保製程過程中不會產生重大缺陷,還能提升矽(Silicon)或碳化矽(SiC)晶圓的使用效率,在量產中維持一致的良率水準,滿足高品質SOI晶圓的要求。

在SOI製程中,晶圓剝離(Split)步驟極具挑戰性,需精密控制貼合均勻度與剝離力道,一旦失衡,極易導致晶圓破片、缺陷或厚度不均,直接影響最終良率與製程穩定性。Decauto具備高度自動化設計,為業界經過量產驗證、穩定供應SOI製程的標準解決方案。

隨著電動車、自駕技術、AI與高速通訊需求持續升溫,SOI晶圓的重要性日益提升。資騰為R2D在台策略合作夥伴,憑藉在地化的設備裝機與製程整合能力,串連完整資源,協助客戶快速導入SOI製程。透過降低實驗風險、縮短開發週期,加速新製程落地並穩健推進量產,展現資騰在地深耕、整合創新的核心價值。


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