根據《日經亞洲》報導， High NA EUV 機台要價約3.5億美元，換算超過110億元新台幣，報導指出，台積電考慮使用該設備生產A10製程，比起2025年就要開始量產的2奈米製程還要先進2代，若根據台積電先進製程藍圖規劃，A16製程預計在2026年下半年投產，報導指出可能會等到2030年才會更廣泛採用 High NA EUV 機台進行大規模量產。
根據先前消息，台積電要使用High NA EUV機台生產晶片，將等到2028年推出的改良版A14P製程。
在此之前，英特爾第一季成為全球首家收到High NA EUV 機台的半導體公司，並在第二季收到第二套，試圖在先進製程挽回頹勢；此外，三星也傳出將在2025年取得設備。不過，從ASML先前揭露的財報顯示，新增EUV訂單遭到腰斬，外界推出台積電應該持續布局投資，可能是英特爾、三星在先進製程節點研發與量產的挫敗，導致戰略調整下，減少採用EUV機台所致。
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