根據《日經亞洲》報導, High NA EUV 機台要價約3.5億美元,換算超過110億元新台幣,報導指出,台積電考慮使用該設備生產A10製程,比起2025年就要開始量產的2奈米製程還要先進2代,若根據台積電先進製程藍圖規劃,A16製程預計在2026年下半年投產,報導指出可能會等到2030年才會更廣泛採用 High NA EUV 機台進行大規模量產。
根據先前消息,台積電要使用High NA EUV機台生產晶片,將等到2028年推出的改良版A14P製程。
在此之前,英特爾第一季成為全球首家收到High NA EUV 機台的半導體公司,並在第二季收到第二套,試圖在先進製程挽回頹勢;此外,三星也傳出將在2025年取得設備。不過,從ASML先前揭露的財報顯示,新增EUV訂單遭到腰斬,外界推出台積電應該持續布局投資,可能是英特爾、三星在先進製程節點研發與量產的挫敗,導致戰略調整下,減少採用EUV機台所致。
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