截至2022年8月，已導入晶圓十五B廠、晶圓十八B廠且效果良好，並進一步納入新建廠區標準設計；既有廠區以3年為期規劃「高效能噴水裝置增設專案」，全面提升空氣排放處理效率，使半導體技術發展與環境永續共融。
先進製程技術持續演進的同時，台積電亦關注製程排氣處理效率的提升，針對半導體製程產生的尾氣特性，採用不同控制技術的現址式空氣處理設備進行預先處理。由於爐管製程機台尾氣的電熱水洗式處理設備，其使用的二氯矽烷與氯氣會於設備內部產生鹽酸氣體及大量細懸浮微粒。
對此，台積電攜手供應商研發由二流體噴嘴及除塵噴水裝置組成的高效能噴水裝置，該裝置利用高壓空氣於二流體噴嘴內部擊碎液體，使液體霧化成液滴以縮小粒徑，藉此增加與汙染物的接觸面積，並使其凝合成較大的固態粒狀物後，再透過除塵噴水裝置達到攔截作用，經實測可提升削減效果。
除改善既有空氣處理設備、精進效能，台積電也持續引進新型設備提升汙染物削減率，於晶圓十二廠B廠導入大流量（2,500公升／分鐘）的燃燒式處理設備，不僅使汙染物削減率達95%以上，以集中式高溫處理製程尾氣還可降低38%熱損失、減少37%安裝佔地面積、50%管路配置費用與定期保養人力，亦已列為未來新建廠區標準設計；台積電預計2023年針對水洗設備引進新型濾網，透過更高的比表面積吸附細懸浮微粒，預估削減率將提升70%，持續實踐綠色製造使命。
