
恐損失數億美元!隨機性變異衝擊先進製程 Fractilia助攻2奈米量產
Fractilia指出,傳統製程控制策略無法有效解決這類誤差,需要導入全新思維,包括:精準的隨機性量...
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Fractilia FAME 300專為量產晶圓廠設計,能即時測量和監控先進節點微影圖案化誤差中的隨...
...量國際論壇」,邀請致茂集團/兆晟奈米科技、工研院、Fractilia、Oxford Instrume...