為降低先進製程帶來的高能耗，台積電攜手供應商推動「EUV 動態節能計畫」。實測顯示，EUV 產線設備每年可節省約 8% 能源，並自 9 月起已陸續導入晶圓十五 B 廠、晶圓十八 A/B 廠，今年底前將全面應用於全球所有 EUV 設備，並列為新建廠區的標準設計。台積電預估，該計畫至 2030 年可累積節電 1 億 9,000 萬度，相當減碳 10 萬 1,000 公噸，兼顧產能擴充與環境永續。
台積電指出，自 7 奈米製程導入極紫外光（EUV）微影以來，設備數量持續成長，帶來龐大能源需求。為兼顧技術發展與綠色生產，2024 年與設備供應商合作，成功將 EUV 微影設備瞬時用電量降低 44%，並透過廠內自動化系統依需求調整能源分配，有效減少耗電同時維持產能穩定，落實綠色生產流程。
同時，台積電也呼應聯合國永續發展目標（SDG）第 7 項「可負擔的潔淨能源」，持續擴大節能範疇，評估將動態節能技術從 EUV 擴展至深紫外光（DUV）及其他非微影製程模組設備，以進一步強化整體能源效率。
不過，SemiVision 數據顯示，台積電 2024 年 255.5 億度用電中，仍有 219.4 億度來自非再生能源，比重逾 83%；其中製程設備僅占 46.1%，其餘 53.9% 來自廠務運作。隨著未來用電持續攀升，如何持續降低整體能耗，將是台積電在台灣永續營運的長期挑戰。
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