據《朝鮮日報》報導,預期Hyper-NA EUV曝光機售價可能高達7.24億美元(約為230億元新台幣),比去年底陸續推出High-NA EUV曝光機價格再度翻倍,這使得台積電等先進製程晶圓代工廠望之卻步,甚至可能讓這些公司在制定中長期目標出現變數,尤其是如今進入到埃米(A)時代,競爭更為激烈,因為這些設備價格實在過於高昂。

一名半導體業界人士指出,過去台積電相較於三星,較晚採用EUV曝光機,並透過自身所累積的經驗與技術來打造先進晶片,進而降低採購新設備的成本。

知悉三星業務的人士表示,現在採用high-NA EUV曝光機,對於考量要用以1奈米製程以下的中長期計畫,可能是個糟糕的決定。有鑒於Hyper-NA EUV曝光機的推出,可能會考慮直接跳過high-NA EUV曝光機,直接轉向Hyper-NA EUV曝光機,但前提是該設備已經提供某種程度的可靠性。

英特爾在今年4月公布晶圓代工服務(Intel Foundry Services,IFS)事業群製造部門營運情況,今年第一季虧損25億美元,2023年虧損更是高達70億美元,報導指出,英特爾為首家接收到high-NA EUV曝光機的廠商,但如今面對巨大虧損,主要就是大量採購設備所致。

ASML指出,high-NA EUV曝光機將讓英特爾可以生產2奈米以下,包括Intel 18A、Intel 14A系列製程,甚至是10埃米至7埃米製程晶片,Hyper-NA EUV曝光機成為必要設備,許多公司都會採用,因為這可以降低多重圖形(Multiple patterning)的曝光方式所產生的風險。


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