為了讓台積電1.4奈米可在2027年順利量產，王美花說，對於廠商在台灣的投資常常需要跨部會討論，因為涉及用地、用水、用電需求等，本來就會常常討論，台積電後續涉及議題很多，也會有很多討論，會盤點科學園區、產業園區等設置情形，通盤檢討，不會只有一次討論。
經濟部目前手上的地主要是「中南部產業園區開發方案」為主，2020年為因應美中貿易戰帶來的台商返台投資潮，以中埔產業園區、水上產業園區、新市產業園區、北高雄產業園區（九鬮農場）設置速度最快。
高雄市政府經濟發展局優先以白埔農場為推動基地，「白埔產業園區」面積為88.56公頃，位處高雄市岡山區及橋頭區界、交通便捷，預計發展電子零組件製造業、電腦、電子產品及光學製品製造業及其他半導體相關產業等。
國科會轄下的科學園區，北中南都有規劃有半導體產業用地，包括推動中的台中園區二期擴建、橋頭園區、台南園區三期擴建、以及楠梓園區等新設或擴建園區。
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