成功打入半導體設備龍頭供應鏈 明遠精密穩步擴展全球市場
【記者呂承哲／台北報導】明遠精密（7704）18日舉辦上櫃前業績發表會，該公司產品主要為半導體臭氧供氣系統、遠端電漿源、射頻電源系統及技術維修服務，主要應用於半導體製程中的化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）等關鍵製程。
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