Fractilia FAME 300專為量產晶圓廠設計,能即時測量和監控先進節點微影圖案化誤差中的隨機效應(stochastic),其全新FAME OPC套件,能自動化測量多種隨機效應並縮短運算時間,提升微影圖案化中的OPC建模精準度,對High-NA EUV製程精度具關鍵影響。可用於所有SEM工具、High-NA EUV與OPC資料串流,幫助先進半導體提高良率、降低製程風險,實現高效穩定生產。

本次展出產品包括來自德國的Intelligent Fluids的物理性去光阻技術、EcoDesign的Metal Free臭氧水產生設備、Prognosis普格諾斯科技的智能振動感測器、FlowVIEW邑流科技的濕製程微汙染監控解決方案、AI Particle Imager影像檢測儀,日本大廠Morikawa和德國新創公司CNM Technologies的合作,主要實績為面板廠、自動化設備廠與半導體客戶。

資騰科技作為提供尖端技術解決方案的專業銷售平台,已在市場建立了穩固的合作夥伴關係。透過與和淞科技、韶揚科技、友達數位、邑流科技、普格諾斯科技、其陽科技、帝畢仕等多家知名廠商的緊密合作,為客戶提供精確應對先進製程和 EUV 應用挑戰的解決方案,致力於幫助客戶提升製程良率、降低生產風險,並期待與更多合作夥伴攜手,共同推動半導體技術的持續創新與發展。


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