從美國RCA引進技術，在工研院電子所建立的3吋晶圓、7.5微米製程的「IC示範工廠」，是台灣邁入IC製造業的第一步。
IC(積體電路)製造技術的發展趨勢，是晶圓尺寸愈來愈大，而製程則愈來愈小。早期IC的線距很大，因此每顆IC可容納的電晶體數目有限。
1960年代是IC產業的萌芽期，此時的IC為「小型積體電路」(SSI)，一顆IC最多僅能容納約100個電晶體。之後進步到「中型積體電路」(MSI)，每苛IC可容納101-1000個電晶體，台灣當時引進的IC技術為MSI範疇。
1970年代末期，IC技術進步到「大型積體電路」(LSI)，每顆IC可容納的電晶體數目大幅增加，最多可容納1萬個電晶體。進入1980年代，IC製造技術更邁入新的境界，「超大型積體電路」(VLSI)，每顆IC最多可容易10萬個電晶體。
工研院電子所在成功量產IC後，接下來開始研發LSI技術，同時也從美國IMR公司引進光罩製造技術。
繼LSI開發計畫後，電子所從1983年起，在政府29億台幣經費的支援下，開始執行「VLSI技術發展計畫」，於1986年建立完成6吋VLSI晶圓廠，製程技術為2.5微米。
1985年8月，在美國半導體業界赫赫有名的張忠謀，接受工研院董事長徐賢修的邀請，到台灣擔任工研院院長。張忠謀曾任職於美國德州儀器(TI)，掌管半導體事業經營，為TI立下不少戰功。
早在張忠謀還任職於TI之際，李國鼎就數度到美國力邀張忠謀到台灣工作，當時行政院長孫運璿，已經為他準備數個主到台灣高科技發展的職務(工研院院長是其中之一)，不過張忠謀都沒有答應。
之後，在工研院董事長徐賢修三度力邀之下，54歲的張忠謀，終於答應徐賢修的邀請，到台灣擔任工研院院長。
對張忠謀而言，這是重大的轉變，從美國到台灣，張忠謀能否再創事業新局面，是未定之天。事後看來，張忠謀到台灣發展，不僅將台灣IC產業推到全球最令人羨慕的地位，也讓他成為全球令人敬佩的半導體大師。
張忠謀接任工研院院長時，聯電已成立5年，有一座4吋晶圓廠，製程技術為3.5微米。電子所執行的「VLSI技術發展計畫」，6吋廠正在興建中。
1984年間，有三批留美學人，返台設立IC設計公司，分別為陳正宇創立的茂矽、歐植林的華智及莊人川的國善，他們分別向政府請求交通銀行投資，支持蓋晶圓廠。
儘管這3家IC設計公司皆專注於記憶體IC，然而這可看出，台灣IC設計公司已開始興起。本土的IC設計公司太欣半導體，已於1983年成立。儘管當時台灣IC設計的規模仍小，但晶圓代工的需求正快速成長，尤其是來自美國的需求。
電子所的「VLSI技術發展計畫」已為台灣立下IC製造的基礎，與台灣IC製造技術，美、歐、日最先進的技術僅約一、二代的差距。
張忠謀經仔細思量後，認為台灣適合發展專業晶圓代工廠。在李國鼎的安排下，張忠謀向當時行政院長俞國華簡報，成立晶圓代工公司的構想，獲得政府的支持。
俞國華院長指示四名財經首長與張忠謀，共組籌備小組，由行政院開發基金主導籌資。
張忠謀計畫成立的公司就是台積電，總投資額(包括融資)約2億美元，自有資金占7成，約台幣55億元，較聯電的3.6億元台幣高出很多。
台積電籌資的金額，在當時可以說是天文數字，若是沒有政府的支持很難成其事。尤其是當時大部分人對IC產業十分陌生，許多台灣大企業在政府「千拜託、萬拜託」之下，方肯投資台積電。事後看來，政府拜託它們投資台積電，可說是給它們「天大的賺錢機會」。
台積電成立時的股權結構為政府的開發基金占48.3%，荷蘭飛利浦占27.5%，台灣民間企業占24.2%。
飛利浦除了投資外，也提供台積電技術、專利授權，是台積電重要的夥伴。飛利浦投資台積電，可說是最有價值的投資，2000年起，為了彌補虧損，飛利浦陸續出脫手上的台積電股票，2008年飛利浦賣掉所有的台積電股票，據估算飛利浦投資台積電獲利約300倍。
1986年電子所成立「台積電移轉專案小組」，全力籌備新公司。
1987年2月，台積電正式成立，實收資本額為新台幣13.775億元，租用工研院的6吋廠接單生產，移轉小組約有150位員工轉移到台積電。
台積電成立當年以2.5微米及3微米製程，切入市場。1987年總產能為6615片6吋晶圓，台積電的「起手式」令人為之一亮。
台積電成立於IC產業從萌芽期到發展期之際，IC製程技術持續發展，應用市場不斷地擴大。
由於景氣循環的特性，IC產能常有供不應求的情況，台積電瞄準IDM(整合元件製造廠)在擴廠不及時，對晶圓代工有不小的需求，台積電的晶圓代工服務，可作為IDM調解產能的緩衝區。
另一晶圓代工的重要市場，是快速崛起的無晶圓廠IC設計公司。在台積電尚未成立時，IC設計公司只有尋求IDM為它們代工，不過產能難尋，技術、價格、交期，都有很大的障礙。
專業晶圓代工廠台積電成立後，對IC設計公司而言，是天大的佳音。許多有IC設計能力的工程師們，可以大膽地創業成立IC設計公司，因為有台積電這種專業晶圓代工廠作他們的後盾。
以台灣為例，1986年台灣IC設計公司僅有4家，1987年激繒至30家，1988年增加到50家。這可看出IC設計行業開始快速成長，台積電的出現為IC設計業增添成長的「柴火」。
台積電在很不錯的時間點成立，在卓越的管理經營下，步步為營，渡過無數的挑戰與危機，30多年的經營績效成為全球IC產業的典範。
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