首先在3奈米的產值及衍生價值估算下，根據台積電預估，3 奈米製程技術將在量產5年內，釋放全世界高達約1.5兆美元終端產品的價值。
在技術領先方面，據台積電剛剛揭露的資料，相較於5奈米製程技術，3奈米邏輯密度將增60%，在相同速度下功耗降低30-35%，在效能、功耗及面積及電晶體技術上，為全球業界最先進的半導體邏輯製程技術。
同時，3奈米應用在頂尖科技產品上包括有超級電腦、雲端資料中心、高速的網際網路，及行動裝置等，包含未來的AR/VR。3奈米製程技術預估將會成為台積電另一個大規模且有長期需求的製程技術。
這次台積電宣布將再投資1.86兆元投資興建3奈米廠，而這座超大型晶廠有多大？台積電表示，南科3奈米晶圓廠潔淨室面積大約是22座標準足球場大小，18廠第1期至第8期均配置面積達5萬8000平方公尺，為一般標準型邏輯工廠的2倍面積。
另外，這座3奈米廠還著重在永續與綠色製造，包括台積電承諾透過綠色製造與環境共榮，3 奈米晶圓廠區建設依循台灣綠建築EEWH和美國綠建築LEED認證系統指標。
3奈米晶圓廠區同時導入來自「台積電南科工業再生水廠」的水資源，以逐步
達成全公司2030年前再生水替代率 60%以上永續目標。3奈米晶圓廠區自量產開始承諾使用20%以上再生能源，以逐步達成2050年前淨零排放的永續目標。
事實上，台積電3奈米晶圓廠早在2017年8月就決定晶圓18廠落址南部科學園區，後來在2020年1月取得3奈米廠用地，啟動晶圓18廠第4至6期工程，2020 年11月晶圓18廠第4期舉行上樑典禮，宣布南科3奈米藍圖，2020年12月取得用地，進行晶圓18廠第7期及晶圓18廠第8期擴充，2021年7月晶圓18廠第5期開始進機，2022年 2月晶圓18廠第6期開始進機，2022年11月晶圓18廠第8期開始進機，2022年12月啟動亞利桑那州晶圓廠第2期工程。
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