台積電表示，面對日益嚴峻的極端氣候，公司積極創造更多節水省電機會點，2021年針對晶圓傳送盒清洗機台研發漸進式開關水閥，藉由自動控制熱水輸出多寡，於機台未運作時減少50%供水量，達到年省38萬公噸純水與1,533萬度電。
為更優化熱水使用效率，智能工程中心、晶圓12B廠與供應商持續深入分析機台能耗及運轉參數，進一步設計熱水封閉迴路，透過加裝泵浦與冷熱水自動控制切換閥門，在確保水溫穩定的前提下，利用泵浦將機台未運作時的熱水全部導回熱水器繼續使用，達到100%回收效益。
熱水回收循環系統已列為台積電12吋晶圓廠區未來新購晶圓傳送盒清洗機台的標準配備，目標至2030年可年省140萬公噸純水及1億1,000萬度電。
台積電智能工程中心處長林震賓指出，秉持精益求精的精神，台積電持續發揮創新想法，透過改造機台並開發新功能，持續提升能源使用效率。
台積電強調，秉持機台節能最大化的原則，也持續評估改造晶圓傳送盒清洗機台腔體與噴嘴設計以降低乾燥氣體使用量，同時開發腔體未運作期間的節能模式，預計2023年第1季進行驗證，朝每台晶圓傳送盒清洗機台節能30%的綠色目標前進。
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