台積電營運資深副總經理秦永沛指出，使用無毒又環保的綠色原物料是台積電有害物質管理的目標，在同仁努力下，終於克服困難達成NMP減量95%，是台積公司推動綠色製造的重要里程碑，期能完成100%替代，將原物料的健康與環境風險降至最低。
台積電有害物質管理以QC 080000有害物質流程管理系統為標準，基於保護人體健康與降低環境衝擊，秉持能不用就不用、能少用就少用的原則，依規劃、執行、查核、行動的管理循環模式持續改善有害物質使用。
針對工業普遍使用的化學品NMP，台積電主要將其做為製程中去光阻後清洗晶圓的溶劑，為降低人員暴露與環境汙染風險，台積公司超越法規要求，於2016年自主推動「去光阻濕式清洗製程NMP替代計劃」，7奈米（含）以下先進製程完全排除使用 NMP，既有廠區則陸續進行替代作業，並訂定2030年台灣廠區達成100% NMP替代的目標。
藉由與客戶緊密合作，台積電各廠區工程部、製造部及濕蝕刻技術委員會除針對製程進行替代性材料評估外，因替換過程亦須改變設備硬體與製程參數，在不影響產品良率的前提下，歷經多次配方調整、反覆測試，以達製程最適化，透過跨廠區合作於2022年10月完成去光阻濕式清洗製程機台修改，同時建立機台維修保養機制，確保後續生產品質無虞。
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