台積電致力推動水資源永續管理，積極落實製程節水與廢水分流，廠區水回收已達一滴水使用3.5次的成效。
台積電指出，水的品質、純度與穩定來源對晶片生產過程至關重要，為更善用每一滴水資源，台積電於2015年起投入再生水技術研發，建置模廠並以實廠廢水進行測試，透過反覆調整處理程序強化水質。
有鑑於先進製程潔淨度需求提升與系統運轉優化，為使再生水品質符合製程規格，台積電也集結工業技術研究院、中鼎集團、國立台灣大學、國立陽明交通大學等產官學界力量，開發導入低能耗生物處理、低能耗汙泥處理、高效能尿素去除等創新技術，並與台南市政府及南部科學園區管理局合作建置供水模式，藉由多重且即時自動化水質監測，確保再生水供應品質。
台積電南科再生水廠是台積電南科廠區再生水製造、偵測與供應中心，除回收南部科學園區汙水廠放流水以產製工業再生水外，並於永康及安平汙水廠市政再生水進入廠區前把關水質；目前台積電也投入研發以廢熱進行濃縮廢水回收與汙泥資源化技術，避免濃排廢水外流，進一步降低環境衝擊，預計2026年南科再生水廠產能將提升至每日供水3萬6,000公噸，持續降低自來水用量需求並友善環境。
台積電強調，拓展多元水資源為台積電水管理永續發展的重要策略，將持續擴大再生水應用範圍，今年已啟動竹科再生水廠專案，預計2025年每日可供應工業再生水1萬公噸，導入2奈米製程廠區並配合市政再生水供應，未來可達成竹科新建廠區100%使用再生水，目標於2030年台灣廠區再生水替代率達60%以上，提高組織營運韌性，實踐水循環永續行動。
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