蔚華科擕手南方科技搶攻化合物半導體商機 首創非破壞性缺陷檢測系統
【記者陳修凱/台北報導】半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技(3055)攜手旗下數位光學品牌南方科技,共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統,採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描,找出基板內部的致命性晶體缺陷,用以取代現行高成本的破壞性 KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測方式,可提升產量並有助於改善製程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算,JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠省下每年2.5億因蝕刻而損耗的成本。