
GAA與CFET技術突破關鍵!ASM透過ALD與磊晶技術推進埃米製程
【記者呂承哲/台北報導】半導體先進製程AMC奈米監測設備領導廠商創控科技(6909)參展SEMICON Taiwan 2025國際半導體展,在南港展覽館2館4樓R7406攤位展出新產品FMS 2000與MiTAP M3。今年更強調軟體實力,將CFD(計算流體力學)與AI/ML(人工智慧與機器學習)整合,讓AMC監測從硬體檢測進化到「硬體+軟體」的全方位解決方案,協助客戶從被動應對邁向主動預警,推動無塵室數位化與智慧化。