台積電表示，部分中科、南科廠區達疏散標準，以人員安全為第一優先，依緊急應變程序進行人員室內及室外疏散與清點。這次發生地震的嘉南地區，包括台積電南科8吋晶圓6廠，12吋晶圓14廠及先進封測廠、晶圓18廠，還有正在興建的嘉義CoWoS先進封裝廠區。
除了台積電，聯電、群創等科技大廠均預防性停機。根據消息指出，目前受災與恢復情況難以掌握，各大廠也開始進行搶救，實際狀況待各家廠商自行公布。
據南科管理局報告顯示，本次地震儀測值，台南84.90Gal(5弱)、高雄31.20Gal(4級)。廠商地震儀測值，台南群創B廠143.00Gal(5強)、台積18廠105.00Gal(5弱)、聯電131.00Gal(5弱)、彩晶126.80Gal(5弱)。高雄群創F廠35.00Gal(4級)。
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