台積電在最新公布的ESG電子報說明，硫酸是半導體製程中關鍵化學品。為落實資源循環再利用，台積電自2014年起投入廢硫酸回收技術研發，透過1.0版成功將廢硫酸再生為工業級硫酸並回用於廢水處理。然而長期運轉下，設備腐蝕與內襯剝離問題逐漸浮現。為克服挑戰，台積電深入研究化學反應機制，開發出以低腐蝕性催化劑取代鹽酸的新方案，催化效率更高、使用量大幅減少；並導入搪玻璃反應器技術，以高溫燒結方式在槽體內形成玻璃層，取代黏合內襯設計，有效避免高溫剝離現象，確保系統長期穩定運行。
實際運轉成果顯示，新型催化劑使不銹鋼設備腐蝕率降低98%，催化劑用量減少99%，化學反應時間縮短逾八成；搪玻璃反應器亦能防止內襯剝離，顯著延長設備壽命。台積電表示，廢硫酸回收系統2.0版將於2025年起納入新廠區標準設計，深化物料再生與廢棄物減量目標。
除廢硫酸再生外，台積電也積極擴展整體綠色製造布局。台中零廢製造中心自2023年試運轉後，於2024年11月13日正式商轉，成為全球半導體業首座整合型能資源循環場域，也是台積電首座循環經濟示範中心。該中心設有氟化鈣污泥、氧化矽污泥、有機溶劑熱回收與異丙醇回收等四大廠區，確保廢棄物資源不外流並達純化再生標準。自啟用以來，化學品回收再生率達100%，部分產物已供應其他產業使用，未來將開發電子級再生化學品，回用於半導體製程，打造封閉式綠色製造鏈。
在供應鏈協力下，各回收廠運作高效。成信實業營運的氧化矽污泥回收廠，透過乾燥、焙燒與浸漬程序，製成礦石粉與硫酸銅；前者可用於塑膠、陶瓷工業，後者作為工業原料。立盈環保科技則負責氣化鈣污泥回收廠，產出人造螢石。螢石為鋼鐵業助熔劑，過去多仰賴中國進口，人造螢石價格不僅價格低且具低碳優勢，純度達97%以上可應用於電子級氫氟酸製程，展現高附加價值。
台積電指出，零廢中心與供應商合作採「Build on Operation（BOO）」模式，由台積電提供場地與技術支持，供應商負責廠房建設與營運，形成共創共榮的綠色夥伴機制。
台積電以「一滴硫酸都不外運」為願景，透過升級廢硫酸回收系統與零廢製造中心雙軌運作，將廢硫酸轉製成高附加價值的衍生產品，應用於工業原料及建築材料等領域，減少廢棄資源對環境的影響，同時體現台積電對循環經濟及永續發展的承諾，開創零廢製造的新里程碑。
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